実務ノウハウ クリーンルーム対応設計の基礎——発塵を抑える設計思想
クリーンルーム対応設計の基礎:発塵を抑える設計思想。主な内容:発塵源を洗い出す・材料選定の勘所・排気・気流設計との整合を取る・部品調達と受入検査での落とし穴・評価試験とパーティクルカウント測定の実務など。
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